基本信息
| 标准名称： | 微机电系统（MEMS）技术 术语 |
| 英文名称： | Micro-electromechanical system technology—Terms |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 微电路 >> 微电路综合 |
| ICS分类： | 电子学 >> 集成电路、微电子学 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2011-01-10 |
| 实施日期： | 2011-10-01 |
| 首发日期： | 2011-01-10 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 提出单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： | 中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学 |
| 起草人： | 丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2011-10-01 |
| 页数： | 40页 |
适用范围
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本 标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
前言
没有内容
目录
前言 Ⅲ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 3.1 综合性术语 1 3.2 科学与工程术语 2 3.3 与材料相关的术语 3 3.4 与设计相关的术语 4 3.5 与加工工艺相关的术语 7 3.6 封装与组装术语 10 3.7 测量技术术语 13 3.8 与器件相关的术语 15 参考文献 22 索引 23 汉语拼音索引 23 英文对应词索引 27
引用标准
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GB/T2900.66—2004 电工术语 半导体器件和集成电路(IEC60050-521:2002,IDT)
所属分类： 电子元器件与信息技术 微电路 微电路综合 电子学 集成电路 微电子学